Achoimre Mhionsonraithe arCeannairí Táthúcháin Léasair Eitilte
Clúdaíonn sé ainmneacha comhpháirteanna, sainmhínithe, prionsabail, paraiméadair dearaidh agus ríomhanna foirmle, agus tá feidhm aige maidir letáthú scanadh ardluais(amhail córais galbhánaiméadair) nó feidhmchláir táthúcháin iargúlta.
1. Comhdhéanamh agus Sainmhíniú ar Chinn Táthúcháin Léasair Táthúcháin Eitilte
Baintear fócas dinimiciúil amach le táthú eitilte (Táthú Léasair Scanála) trí bhíomaí léasair a léiríonn galbhánaiméadar ardluais, agus tá sé oiriúnach do limistéir mhóra agustáthú ardluaisSeo a leanas a phríomhchodanna:
1. Modúl Imbhuailte Bhíoma
Coilméadair
Feidhm: Aschur an léasair dhifreálaigh (NA=0.1~0.22) ón snáithín optúil a thiontú ina bhíoma comhthreomhar.
Príomhpharaiméadair: Fad fócasach fcoll, trastomhas bhíoma coilimithe Dcoll.
Foirmle:
1.2 Córas Scanadh Galvanóiméadar
Scátháin Galvo ais-X/Y
Feidhm: Athraigh treo an bhíoma solais trí scátháin rothlacha ardluais chun scanadh plána dháthoiseach a bhaint amach.
Príomhpharaiméadair: Luas scanadh (≥10m/s de ghnáth), cruinneas suímh athuair (<±5μrad), méid scátháin (ní mór trastomhas an bhíoma Dcoll a chlúdach).
Mótar galbhánaiméadair: Mótar servo nó mótar galbhánaiméadair le ham freagartha <1ms.
1.3 Modúl Dírithe Dinimiciúil (Lionsa F-Theta nó Galvanometer + Lionsa Réimse Cothrom)
Lionsa F-Theta
Feidhm: Uillinn diallta an ghalbhánaiméadair a thiontú ina díláithriú líneach ar an eitleán chun comhsheasmhacht fócais a choinneáil.
Foirmlí tábhachtacha:
2. Prionsabal Oibre
Cosán bhíoma: Léasar → Comhlínitheoir → galbhánaiméadar X → galbhánaiméadar Y → lionsa F-Theta → Dromchla an phíosa oibre.
Fócas dinimiciúil:
Nuair is ionann uillinn diallta an ghalbhánaiméadair agus θ, déantar an suíomh fócais (x, y) a thiontú ag an lionsa F-Theta mar seo a leanas:
3. Príomhpharaiméadair agus Foirmlí Dearaidh
3.1 Ríomh Méid Spota
Trastomhas an phointe dhírithe d (teorainn difreactachta):
3.2 Raon Scanadh agus Uillinn Galvanóiméadair
Raon scanadh uasta L:
3.3 Luas agus Luasghéarú Táthúcháin
Luas líneach v
3.4 Doimhneacht Fócais (DOF)
3.5 Dlús Cumhachta agus Ionchur Fuinnimh
Dlús cumhachta I:
Dlús fuinnimh E (táthú cuisle):
4. Dearadh Saobhránachta agus Optamaithe
4.1 Ceartú ar Shaobhadh Lionsa F-Theta
Saobhadh: Caithfidh sé r∝θ a shásamh, agus ba chóir go mbeadh an saobhadh neamhlíneach <0.1%.
Cuar réimse: Dear réimse cothrom trí ghrúpaí il-lionsa.
4.2 Earráid Sioncrónaithe Galvanóiméadar
Ba chóir go mbeadh moill an ghalbhánaiméadair X/Y <1μs chun spotaí éilipseacha a sheachaint.
5. Sampla de Phróiseas Dearaidh
Riachtanais ionchuir: Raon scanadh L, méid spota d, luas táthúcháin v. Roghnaigh lionsa F-Theta: Cinntigh fθ de réir L=2fθtan(θmax).
Ríomh paraiméadair an ghalbhánaiméadair: luas uilleach ω=v/fθ, agus fíoraigh feidhmíocht an ghalbhánaiméadair.
Fíoraigh cáilíocht spota: Déan neamhghnáchaíochtaí grúpa lionsaí a bharrfheabhsú trí Zemax/OpticStudio.
6. Réamhchúraimí
Bainistíocht theirmeach: Caithfidh galvanóiméadair agus lionsaí fuarú le huisce faoi chumhacht ard (amhail >1kW).
Cosaint frith-imbhuailte: Caithfidh coscánaithe éigeandála a bheith ag galbhanóiméadair chun imbhualadh meicniúil a sheachaint.
Calabrú: Déan comhaiseacht an chosáin optúil a chalabrú go rialta (diall <0.05mm).
Am an phoist: 04 Lúnasa 2025










